渋谷教授が第12回光・量子エレクトロニクス業績賞(宅間宏賞)を受賞

応用物理学会による研究分野業績賞「第12回光・量子エレクトロニクス業績賞(宅間賞)」をメディア画像学科の渋谷眞人教授が受賞することが決定し、応用物理学会誌上で発表されました。
同賞は光・量子エレクトロニクス研究分野において顕著な業績をあげた研究者を顕彰することを目的として1999年に設立されたもので、青色LEDの発明で有名な中村修二氏が第1回の受賞者に選ばれているなど、光分野では重要な賞のひとつです。
今回、渋谷教授による「位相シフト法の発明」が顕著な業績として認められ受賞の運びとなりました。日本光学工業(現ニコン)に在職中の1982年に渋谷教授により発明された位相シフト法は、現在半導体製造用リソグラフィーの必須技術となっており、半導体微細化技術にブレークスルーをもたらした画期的な発明です。

3月下旬に開催される応用物理学会2011年春季学術講演会(会場:神奈川工科大学)の会期中に、受賞式と受賞記念講演が行われます。

※(2011.3.23追記)表彰式は中止となりました

(2011.2.10)